聚对二甲苯涂层的制备方法

摘要

本发明公开了一种多层结构,其包括聚对二甲苯聚合物层沉积其上的第一层,还公开了制备该多层结构的方法。聚对二甲苯聚合物层显示出在粘附性和/或强度方向得到改进。聚对二甲苯聚合物层可具有较少的杂质含量。在某些实施方案中,聚对二甲苯聚合物层是在采用脉冲等离子体进行处理下形成的。

主权项

1、一种形成聚对二甲苯聚合物层的方法，该方法包括下述步骤：在一种基片的表面上沉积聚对二甲苯单体以形成一层；和用脉冲等离子体处理该层。