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发明名称 METHOD FOR MEASURING DIFFUSION OF PHOTOGENERATED CATALYST IN CHEMICALLY AMPLIFIED RESISTS
摘要
申请公布号 EP1277085(A4) 申请公布日期 2005.02.23
申请号 EP20010927101 申请日期 2001.04.17
申请人 YALE UNIVERSITY 发明人 FEKE, GILBERT, D.;GROBER, ROBERT, D.
分类号 G03F7/004;G03F7/039;G03F7/26;H01L21/027;(IPC1-7):G03C1/73;G03C5/00;G03F7/00 主分类号 G03F7/004
代理机构 代理人
主权项
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