载台和切割方法

摘要

一种载台和切割方法，该载台包括台体和多个活塞，该台体包括台面，台面中设置有多个开孔，该多个活塞分别设置于至少部分多个开孔中，且被配置为可沿开孔的侧壁相对台面往复运动。该载台和切割方法在使用中可减小或消除膜状待切割物在被切割时局部的形变，减少或避免在切割过程中切割线变宽、切割精度下降等工艺不良。

主权项

一种载台，包括：台体，所述台体包括台面，所述台面中设置有多个开孔；多个活塞，所述多个活塞分别设置于至少部分所述多个开孔中，且被配置为可沿所述开孔的侧壁相对所述台面往复运动。