发明名称 PRODUCTION METHOD OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS51132786(A) 申请公布日期 1976.11.18
申请号 JP19750057021 申请日期 1975.05.14
申请人 NIPPON ELECTRIC CO 发明人 NAKAMAE MASAHIKO
分类号 H01L21/76 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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