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发明名称 METHOD OF ETCHING SEMICONDUCTOR MATERIALS
摘要
申请公布号 SU621367(A1) 申请公布日期 1978.08.30
申请号 SU19741989753 申请日期 1974.01.14
申请人 VEB ELEKTROMAT (INOPREDPRIYATIE) 发明人 RAJNER MELLER,DL;KHORST SHTELTSER,DL;MIKHAEL KLYAJNERT,DL;LUTTS FABIAN,DL
分类号 C03C15/00;C23F1/00;(IPC1-7):B01J17/00 主分类号 C03C15/00
代理机构 代理人
主权项
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