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经营范围
发明名称
METHOD AND APPARATUS FOR SETTING HIGH RESISTANCE LAYER BY CATHODIC SPUTTER
摘要
申请公布号
JPS64263(A)
申请公布日期
1989.01.05
申请号
JP19880065965
申请日期
1988.03.22
申请人
LEYBOLD AG
发明人
PEETAA BUIRUTSU
分类号
C23C14/34;C23C14/35;C23C14/56;H01J37/34
主分类号
C23C14/34
代理机构
代理人
主权项
地址
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