发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0278266(A) 申请公布日期 1990.03.19
申请号 JP19880228791 申请日期 1988.09.14
申请人 HITACHI LTD;HITACHI VLSI ENG CORP 发明人 KUBONO SHIYOUJI
分类号 G11C11/406;G11C11/407;H01L21/822;H01L21/8244;H01L27/04;H01L27/11 主分类号 G11C11/406
代理机构 代理人
主权项
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