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经营范围
发明名称
CVD ELECTRODE
摘要
申请公布号
JPH02184022(A)
申请公布日期
1990.07.18
申请号
JP19890004458
申请日期
1989.01.11
申请人
KOUJIYUNDO KAGAKU KENKYUSHO:KK
发明人
HOCHIDO YUKO
分类号
H01L21/302;H01L21/205;H01L21/3065;H01L21/31
主分类号
H01L21/302
代理机构
代理人
主权项
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