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发明名称
PLANETARY SUBSTRATE CARRIER
摘要
申请公布号
EP0178186(B1)
申请公布日期
1990.09.12
申请号
EP19850307326
申请日期
1985.10.14
申请人
HEWLETT-PACKARD COMPANY
发明人
BLOOMQUIST, DARREL R.;DRENNAN, GEORGE A.;OPFER, JAMES E.
分类号
C23C16/44;C23C14/50;C23C16/458
主分类号
C23C16/44
代理机构
代理人
主权项
地址
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