发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH02292821(A) 申请公布日期 1990.12.04
申请号 JP19890112103 申请日期 1989.05.02
申请人 FUJITSU LTD 发明人 KATO TAKASHI
分类号 H01L23/52;H01L21/28;H01L21/285;H01L21/3205 主分类号 H01L23/52
代理机构 代理人
主权项
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