| 发明名称 |
MASS PRODUCTION TYPE SINGLE CRYSTAL PULLING-UP SYSTEM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06340491(A) |
申请公布日期 |
1994.12.13 |
| 申请号 |
JP19940056739 |
申请日期 |
1994.03.02 |
| 申请人 |
KOMATSU ELECTRON METALS CO LTD |
发明人 |
MATSUO TOMOYOSHI;HASHIMOTO MASANORI;OTSU YOSHIO;ISHII MICHIO |
| 分类号 |
B08B13/00;C30B15/00;C30B35/00;H01L21/208;(IPC1-7):C30B15/00 |
主分类号 |
B08B13/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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