| 发明名称 |
ETCHING SPEED EVALUATION METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH1092789(A) |
申请公布日期 |
1998.04.10 |
| 申请号 |
JP19960242771 |
申请日期 |
1996.09.13 |
| 申请人 |
NIPPON STEEL CORP |
发明人 |
KAWAKAMI KEIKO;SAKON TADASHI;SAKASHITA MASAO |
| 分类号 |
G01B17/02;G01N5/02;H01L21/306;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/306 |
主分类号 |
G01B17/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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