| 发明名称 |
ELECTRON SHOWER OF ION IMPLANTATION APPARATUS, EXTENSION TUBE AND METHOD FOR REGENERATION OF THIS TUBE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11152565(A) |
申请公布日期 |
1999.06.08 |
| 申请号 |
JP19980253669 |
申请日期 |
1998.09.08 |
| 申请人 |
EATON CORP |
发明人 |
BERNSTEIN JAMES DAVID;FREER BRIAN SCOTT;KELLERMAN PETER L |
| 分类号 |
C23C14/48;H01J37/02;H01J37/317;(IPC1-7):C23C14/48 |
主分类号 |
C23C14/48 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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