| 发明名称 |
METHOD AND DEVICE FOR TREATING A SEMICONDUCTOR SURFACE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0950258(A1) |
申请公布日期 |
1999.10.20 |
| 申请号 |
EP19970953964 |
申请日期 |
1997.12.29 |
| 申请人 |
UNIVERSITE PIERRE ET MARIE CURIE |
发明人 |
BRIAND, JEAN-PIERRE |
| 分类号 |
B82B3/00;B81C1/00;C23C14/04;C23C16/04;H01J37/30;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/314;H01L21/316;(IPC1-7):H01L21/28;H01J37/08 |
主分类号 |
B82B3/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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