发明名称 Alloys formed from cast materials utilizing equal channel angular extrusion
摘要 Described is a high quality sputtering target and method of manufacture which involves application of equal channel angular extrusion.
申请公布号 US2002000272(A1) 申请公布日期 2002.01.03
申请号 US20010912616 申请日期 2001.07.24
申请人 SEGAL VLADIMIR;WILLETT WILLIAM B.;FERRASSE STEPHANE 发明人 SEGAL VLADIMIR;WILLETT WILLIAM B.;FERRASSE STEPHANE
分类号 B21C23/00;B22D7/00;C22F1/00;C22F1/04;C23C14/34;(IPC1-7):C23C14/00 主分类号 B21C23/00
代理机构 代理人
主权项
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