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发明名称 DISPOSITIF POUR LE TRAITEMENT D'UN RECIPIENT A L'AIDE D'UN PLASMA A BASSE PRESSION COMPORTANT UN CIRCUIT DE VIDE PERFECTIONNE
摘要
申请公布号 FR2799994(B1) 申请公布日期 2002.06.07
申请号 FR19990013638 申请日期 1999.10.25
申请人 SIDEL SA 发明人 RIUS JEAN MICHEL
分类号 H05H1/46;B65D1/00;B65D25/02;C23C16/04;C23C16/455;C23C16/50;C23C16/505;H01J37/32;(IPC1-7):B05B7/24;C23C16/513;C23C16/458 主分类号 H05H1/46
代理机构 代理人
主权项
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