| 主权项 |
1.一种在影像处理系统内使第一影像与第二影像 产生关联之方法,其包含以下步骤: (a)将该第一影像与第二影像对正;及 (b)就所有对正图素位置标绘该第一影像之一图素 的灰阶相对该第二影像之一相应图素的灰阶,藉此 产生一个二维散乱图。 2.如申请专利范围第1项之方法,其更包含以下步骤 :在步骤(b)所产生之一图中标绘一阈値窗口。 3.如申请专利范围第1项之方法,其中在步骤(b)所产 生之二图储存于一记体体阵列变数。 4.如申请专利范围第1项之方法,其中在步骤(b)所产 生之一图显示于一视频监视器上。 5.一种电脑可读取媒体,其系储存并实行如申请专 利第1项方法之方程式。 6.一种电脑可读取媒体,其包含: 复数个记忆体位置,其储存代表一第一影像和一相 伴第二影像之资料,该第一影像和第二影像分别具 有复数个图素,每一图素由一位置座标及一灰阶定 义;及 一阵列,其包含复数个记忆体位置储存代表该第一 影像之图素灰阶相对该第二影像之相应图素灰阶 之图的资料,藉此产生一个二维散乱图以协助一阈 値(threshold)设定之有效性。 7.一种缺陷检查系统,其包含: (a)一影像攫取单元,其可作用取得一第一影像及一 相伴第二影像,该第一影像和第二影像分别具有复 数个图素,每一图素由一位置座标及一灰阶定义; (b)复数个记忆体位置,其储存代表该第一影像和该 第二影像之资料;及 (c)一处理器,其可作用而标绘该第一影像之图素的 灰阶相对该第二影像之相应图素的灰阶,藉此产生 一个二维散乱图以协助一阈値(threshold)设定之有 效性。 图式简单说明: 第一图显示一种习知缺陷侦测方法。 第二图显示灰阶之一维统计图。 第三图显示本发明之一实施例的步骤。 第四图A至第四图C显示依据本发明之一对正步骤 。 第五图A至第五图B显示依据本发明之二维散乱图 。 第六图至第七图分别显示取自一装置晶圆之一测 试影像和一参考影像。 第八图第九图显示依据本发明之二维散乱图。 |
