Vorrichtung mit einem optischen System zur Laserwärmebehandlung und ein diese Vorrichtung verwendendes Verfahren zur Herstellung von Halbleiteranordnungen,申请号DE20006027820-传众专利搜索

发明名称	Vorrichtung mit einem optischen System zur Laserwärmebehandlung und ein diese Vorrichtung verwendendes Verfahren zur Herstellung von Halbleiteranordnungen
摘要
申请公布号	DE60027820(D1)	申请公布日期	2006.06.14
申请号	DE20006027820	申请日期	2000.06.23
申请人	MITSUBISHI DENKI K.K., TOKIO/TOKYO	发明人	OKAMOTO, TATSUKI;OGAWA, TETSUYA;FURUTA, KEISUKE;TOKIOKA, HIDETADA;SASAGAWA, TOMOHIRO;NISHIMAE, JUNICHI;INOUE, MITSUO;SATO, YUKIO
分类号	B23K26/06;B23K26/073;H01L21/20;H01L21/268;H01L21/324	主分类号	B23K26/06
代理机构		代理人
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