发明名称 Method of manufacturing silicon single crystal, silicon single crystal ingot and wafer fabricated by the same
摘要
申请公布号 KR100846632(B1) 申请公布日期 2008.07.16
申请号 KR20060136531 申请日期 2006.12.28
申请人 发明人
分类号 H01L21/20 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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