发明名称 |
真空泵系统和用于操作真空泵系统的方法 |
摘要 |
本发明涉及包括真空泵(10)的真空泵系统,该真空泵具体为螺杆泵的形式。所述系统用于排空腔室(16)。当达到腔室(16)中的期望的设定压强时,可以以待机模式来操作所述真空泵系统。为此,出口导管(22)经由旁路导管(24)连接到入口导管(30)。在待机模式中,所述进口阀(18)被关闭而旁路阀(26)被打开,使得回路中的介质可以由真空泵(10)来输送。结果是,基本上以操作温度来维持所述真空泵。 |
申请公布号 |
CN105829723A |
申请公布日期 |
2016.08.03 |
申请号 |
CN201480062828.8 |
申请日期 |
2014.11.04 |
申请人 |
厄利孔莱博尔德真空有限责任公司 |
发明人 |
克里斯蒂安·拜尔;托马斯·德赖费特;罗兰·穆勒;丹尼尔·施奈登巴赫;马克思·百利金;德克·席勒;德克·施特拉特曼 |
分类号 |
F04C28/06(2006.01)I;F04C25/02(2006.01)I;F04C28/02(2006.01)I;F04C28/08(2006.01)I |
主分类号 |
F04C28/06(2006.01)I |
代理机构 |
北京鸿德海业知识产权代理事务所(普通合伙) 11412 |
代理人 |
袁媛 |
主权项 |
一种真空泵系统,包括:真空泵(10),具体为干式压缩真空泵,例如螺杆泵,止回阀(24),其布置在与所述真空泵(10)的出口(20)连接的出口导管(22)中,旁路导管(30),其与出口导管(22)和进口导管(14)连接,所述旁路导管优选地桥接所述真空泵(10),可切换旁路阀(26),其布置在旁路导管(30)中,以及控制装置(28),其与所述旁路阀(26)连接。 |
地址 |
德国科隆 |