摘要 |
Ce détecteur d'un rayonnement électromagnétique, et notamment infrarouge, comprend un substrat et au moins une microstucture comprenant une membrane (2), sensible audit rayonnement, s'étendant sensiblement en regard et à distance dudit substrat, ladite membrane étant solidarisée mécaniquement directement ou indirectement à au moins deux éléments longilignes colinéaires de maintien ou bras de soutien (3), dont l'un au moins est relié mécaniquement au substrat par l'intermédiaire d'un pilier (15), ladite membrane étant en continuité électrique avec le substrat. Les au moins deux bras colinéaires, dits premiers bras , sont solidaires entre eux au niveau de leurs extrémités solidarisées à la membrane (2) de manière directe ou indirecte au moyen d'un élément de jonction mécanique, essentiellement coplanaire aux bras et à la membrane, l'autre extrémité de l'un au moins desdits bras étant solidaire d'une t'averse rigide (4A) essentiellement coplanaire aux bras, et s'étendant sensiblement perpendiculairement par rapport à la dimension principale desdits bras, ladite traverse étant elle-même solidaire du pilier (15) solidaire du substrat. |