| 主权项 |
1.一种液体传输之压力感测装置,具有排放一气体与作压力感测之作用,包括:一储存槽,储存一液体与该气体;一第一开口端,连接该储存槽,用以接收该液体;一第二开口端,连接该储存槽,用以输出该液体;一第三开口端,连接该储存槽,用以排放该气体;以及一第四开口端,连接该储存槽,用以作压力感测。2.如申请专利范围第1项所述之液体传输之压力感测装置,其中该第四开口端更包括:一膜片,用以控制该储存槽之开启;一微动开关,连接在该膜片上,用以进行切换动作;一电力讯号输出端,连接在微动开关之上,用以送出一压力感测信号;以及一排气孔,用以排放该气体;其中,当该液体流入该储存槽时,产生一向外压力,将该膜片往上推,使得该微动开关动作,以该电力讯号输出端送出该压力感测信号,当该液体停止流入该储存槽时,该排气孔排出该气体,用以排去内部累积之该气体,使得该膜片下降,该微动开关停止动作。3.如申请专利范围第1项所述之液体传输之压力感测装置,其中该储存槽系由一铁氟龙所构成。4.如申请专利范围第1项所述之液体传输之压力感测装置,其中该第三开口端排放该气体,系以一排气阀控制排放该气体。5.如申请专利范围第1项所述之液体传输之压力感测装置,其中该第一开口端接收该液体系使用氮气产生一排挤压力将该液体送入该第一开口端。6.如申请专利范围第1项所述之液体传输之压力感测装置,其中该第一开口端接收该液体系使用氦气产生一排挤压力将该液体送入该第一开口端。7.如申请专利范围第1项所述之液体传输之压力感测装置,其中该第一开口端接收该液体系使用空气产生一排挤压力将该液体送入该第一开口端。8.如申请专利范围第1项所述之液体传输之压力感测装置,其中该第二开口端输出该液体,系以一控制阀控制该液体之输出。9.如申请专利范围第1项所述之液体传输之压力感测装置,其中该液体系为一低黏稠度液体。10.一种液体传输之压力感测装置,具有排放一气体与作压力感测之作用,包括:一储存槽,储存一液体与该气体;一第一开口端,连接该储存槽,用以接收该液体;一第二开口端,连接该储存槽,用以输出该液体;一第三开口端,连接该储存槽,用以排放该气体;一膜片,位在该储存槽上,用以控制该储存槽之开启;一微动开关,连接在该膜片上,用以进行切换动作;一电力讯号输出端,连接在微动开关之上,用以送出一压力感测信号;以及一排气孔,用以排放该气体;其中,当该液体流入该储存槽时,产生一向外压力,将该膜片往上推,使得该微动开关动作,以该电力讯号输出端送出该压力感测信号,当该液体停止流入该储存槽时,该排气孔排出该气体,用以排去内部累积之该气体,使得该膜片下降,该微动开关停止动作。11.如申请专利范围第10项所述之液体传输之压力感测装置,其中该储存槽系由一铁氟龙所构成。12.如申请专利范围第10项所述之液体传输之压力感测装置,其中该第三开口端排放该气体,系以一排气阀控制排放该气体。13.如申请专利范围第10项所述之液体传输之压力感测装置,其中该第一开口端接收该液体系使用氮气产生压力将该液体送入该第一开口端。14.如申请专利范围第10项所述之液体传输之压力感测装置,其中该第一开口端接收该液体系使用氦气产生压力将该液体送入该第一开口端。15.如申请专利范围第10项所述之液体传输之压力感测装置,其中该第一开口端接收该液体系使用空气产生压力将该液体送入该第一开口端。16.如申请专利范围第10项所述之液体传输之压力感测装置,其中该第二开口端输出该液体,系以一控制阀控制该液体之输出。17.如申请专利范围第10项所述之液体传输之压力感测装置,其中该液体系为一低黏稠度液体。图式简单说明:第一图A到第一图C绘示SOG的平坦化流程图;第二图绘示习知之SOG液体之压力控制装置;第三图A到第三图C绘示本创作之一较佳实施例的一种液体传输之压力感测装置之剖面图、侧视图以及俯视图;以及第四图A与第四图B绘示本创作液体传输之压力感测装置之运作流程图。 |
