发明名称 Verfahren zum Herstellen einer Halbleiteranordnung
摘要
申请公布号 DE1614818(A1) 申请公布日期 1971.05.19
申请号 DE19671614818 申请日期 1967.06.01
申请人 TELEFUNKEN PATENTVERWERTUNGSGESELLSCHAFT MBH 发明人 KAISER,REINHOLD
分类号 H01L21/00;H01L21/24;H01L21/28;H01L21/308;H01L21/324 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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