| 主权项 |
1.一种附刻度之速度控制阀,适用于调整进出阀件气流量进而控制一化学液之喷量,该速度控制阀包括:一主体连接套;一控制阀主体,该控制阀主体具有一第一端与一第二端,该第一端具有一旋钮,该旋钮之顶面具有一凹槽,该凹槽之一端刻划有一指示标记,并且该控制阀主体之该第二端穿过该主体连接套配置于上;以及一透明管,该透明管用以罩住该旋钮,该透明管之侧面刻划有复数个位置标记,且该透明管之顶面的圆周上刻划有复数个转圈刻度。2.如申请专利范围第1项所述之速度控制阀,其中该速度控制阀包括SMC 1200系列之速度控制阀。3.如申请专利范围第1项所述之速度控制阀,其中该速度控制阀包括SMC1400系列之速度控制阀。4.如申请专利范围第1项所述之速度控制阀,其中该旋钮不具有纹路。5.如申请专利范围第1项所述之速度控制阀,其中该凹槽系为一一字凹槽。6.如申请专利范围第5项所述之速度控制阀,其中该一字凹槽可经由一一字起子转动该旋钮,藉以调整该化学液之喷量。7.如申请专利范围第1项所述之速度控制阀,其中该凹槽系为一十字凹槽。8.如申请专利范围第7项所述之速度控制阀,其中该十字凹槽可经由一十字起子转动该旋钮,藉以调整该化学液之喷量。9.如申请专利范围第1项所述之速度控制阀,其中可经由该些转圈刻度与该些位置标记,来判读出该旋钮之目前位置。10.如申请专利范围第1项所述之速度控制阀,其中该指示标记系一箭头标记。11.如申请专利范围第1项所述之速度控制阀,其中该化学液包括光阻。图式简单说明:第一图绘示的是光阻喷液系统的方块图;第二图绘示的是习知一种速度控制阀的侧视图;第三图绘示的是依照本创作一较佳实施例的一种速度控制阀的侧视图;第四图绘示的是本创作之速度控制阀之旋钮顶面的放大图;以及第五图绘示的是本创作之速度控制阀的部分放大图。 |
