发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
摘要 |
|
申请公布号 |
JPH02307231(A) |
申请公布日期 |
1990.12.20 |
申请号 |
JP19890129324 |
申请日期 |
1989.05.23 |
申请人 |
MITSUBISHI ELECTRIC CORP |
发明人 |
KASAI NOBUYUKI;SONODA TAKUJI;HAYASE IWAO |
分类号 |
H01L29/812;H01L21/28;H01L21/338 |
主分类号 |
H01L29/812 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|