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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02307205(A) 申请公布日期 1990.12.20
申请号 JP19890129404 申请日期 1989.05.23
申请人 SEIKO EPSON CORP 发明人 TATEISHI AKIHIKO
分类号 H01L21/02;H01L21/82 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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