发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH04262538(A) 申请公布日期 1992.09.17
申请号 JP19910021871 申请日期 1991.02.15
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 NAKAJIMA TAKASHI
分类号 H01L21/225;H01L21/331;H01L29/73;H01L29/732 主分类号 H01L21/225
代理机构 代理人
主权项
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