发明名称 |
POLISHING METHOD FOR OUTER PERIPHERY OF WAFER |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH0750279(A) |
申请公布日期 |
1995.02.21 |
申请号 |
JP19930196120 |
申请日期 |
1993.08.06 |
申请人 |
HITACHI CABLE LTD |
发明人 |
MARUYAMA TAKATOSHI;MASUYAMA SHOJI |
分类号 |
B24B9/00;H01L21/02;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 |
主分类号 |
B24B9/00 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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