| 发明名称 |
PRODUCTION OF SILICON NITRIDE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07257910(A) |
申请公布日期 |
1995.10.09 |
| 申请号 |
JP19940074234 |
申请日期 |
1994.03.18 |
| 申请人 |
SHIN ETSU CHEM CO LTD |
发明人 |
FUJII HIDENORI;KONYA YOSHIHARU;FUKUHIRA MASANORI;KUWABARA HARUYOSHI |
| 分类号 |
C01B21/068;C04B38/00;C04B41/50;(IPC1-7):C01B21/068 |
主分类号 |
C01B21/068 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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