发明名称 Three dimension micro-system spacers
摘要 Spacers, between a number of structure components in a three-dimensional micro-system, are of a material which becomes pourable under compression.
申请公布号 DE19652823(A1) 申请公布日期 1998.03.26
申请号 DE19961052823 申请日期 1996.12.18
申请人 FUHR, GUENTER, PROF. DR., 13127 BERLIN, DE 发明人 FUHR, GUENTER, PROF. DR., 13127 BERLIN, DE;SHIRLEY, STEVEN GRAHAM, DR., BRANDON, WARWICKSHIRE, GB
分类号 B01J19/00;B01L3/00;C12N11/08;(IPC1-7):B01J19/00 主分类号 B01J19/00
代理机构 代理人
主权项
地址