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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH10144731(A) 申请公布日期 1998.05.29
申请号 JP19960294954 申请日期 1996.11.07
申请人 TOSHIBA MICROELECTRON CORP;TOSHIBA CORP 发明人 TAKUBO TOMOAKI;TAZAWA HIROSHI;HOSOMI HIDEKAZU;HIRANO NAOHIKO;DOI KAZUHIDE;OKADA TAKASHI;HIRUTA YOICHI;SHIBAZAKI YASUSHI
分类号 H01L21/60;H01L21/603;(IPC1-7):H01L21/60 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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