| 发明名称 |
SHEET FOR FIXING SEMICONDUCTOR WAFER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH10338853(A) |
申请公布日期 |
1998.12.22 |
| 申请号 |
JP19970164921 |
申请日期 |
1997.06.09 |
| 申请人 |
TOYO CHEM CO LTD |
发明人 |
SAIDA SEIJI;UCHIDA HIROYUKI;WADA SHIGERU;HAYASHI TAKASHI |
| 分类号 |
C09J7/02;C09J4/06;C09J121/00;C09J133/00;C09J175/16;H01L21/301;(IPC1-7):C09J7/02 |
主分类号 |
C09J7/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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