| 发明名称 |
ION SOURCE, AND FILAMENT REPLACEMENT METHOD THEREOF |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11250846(A) |
申请公布日期 |
1999.09.17 |
| 申请号 |
JP19980064447 |
申请日期 |
1998.02.27 |
| 申请人 |
NISSIN ELECTRIC CO LTD |
发明人 |
MAENO SHUICHI;ANDO YASUNORI |
| 分类号 |
H01J27/08;H01J37/067;H01J37/08;(IPC1-7):H01J37/067 |
主分类号 |
H01J27/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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