METHOD FOR PRODUCING A HEAT INSULATING LAYER

摘要

Ein Verfahren zur Herstellung einer Wärmedämmschicht, bei dem als Ausgangssubstanz metallorganische Komplexe von Zikonium und wenigstens einem Stabilisierungselement aus dem Bereich der Erdalkali- oder Seltenerdmetalle bereitgestellt werden, die Ausgangssubstanzen durch Erwärmen verdampft und die so erzeugten Beschichtungsgase zu einem zu beschichtenden Bauteil (4), das auf einer Abscheidetemperatur erwärmt wird, transportiert und dort unter Abscheidung einer Schicht (1) zersetzt werden, wobei zur Erzeugung einer Wärmedämmschicht (1) mit kolumnarer Struktur und einer ausreichenden Schichtdicke die Ausgangssubstanzen bei einem Prozessdruck von 0,5 bis 50 mbar auf maximal 250 DEG C unter Bildung der Beschichtungsgase erwärmt und die Beschichtungsgase zu dem zu beschichtenden Bauteil (4), dessen Oberfläche auf einer Abscheidetemperatur zwischen 300 DEG C und 1100 DEG C erwärmt wird, transportiert werden.