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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE HAVING A THIN FILM CAPACITOR
摘要
申请公布号 KR100260986(B1) 申请公布日期 2000.07.01
申请号 KR19970031026 申请日期 1997.07.04
申请人 NEC CORPORATION 发明人 YAMAMICHI SINTARO
分类号 H01L21/66;H01L21/02;H01L21/822;H01L21/8242;H01L27/04;H01L27/06;H01L27/108;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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