摘要 |
Reinigungssystem (10) und Reinigungsverfahren zur Reinigung kontaminierter Bauelemente (23) oder Baugruppen von einer nachfolgenden Montage oder Weiterverarbeitung, umfassend einen Grauraum (11) zur Bereitstellung der kontaminierten Bauelemente oder Baugruppen, eine Reinigungsvorrichtung (12) und einen Reinraum (13) zur Montage und Weiterverarbeitung der gereinigten Bauelemente oder Baugruppen, wobei die Reinigungsvorrichtung (12) den Reinraum (13) vom Grauraum (11) trennt und sowohl vom Grauraum als auch vom Reinraum zugänglich ist. Die Reinigungsvorrichtung (12) weist eine Reinigungskammer (18) auf, mit zumindest zwei unabhängig voneinander betätigbaren Türeinrichtungen (16, 17).
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