| 发明名称 | 一种低非线性误差与低温漂双频激光干涉装置及方法 | ||
| 摘要 | 本发明提出一种低非线性误差与低温漂双频激光干涉装置，包括第一偏振分光棱镜；第二偏振分光棱镜，位于所述第一偏振分光棱镜的透射光的光路上；第三偏振分光棱镜，位于所述第一偏振分光棱镜的反射光的光路上；第一四分之一波片，所述第二偏振分光棱镜位于所述第一四分之一波片和所述第一偏振分光棱镜之间；至少一个第一角锥棱镜，并排放置于所述第二偏振分光棱镜的一侧；第二四分之一波片，位于所述第三偏振分光棱镜的一侧，本发明采用多个偏振分光棱镜级联，并且测量光路和参考光路在干涉装置内部等光程，所以不但具有极低的非线性误差，而且温度漂移也比较低。 | ||
| 申请公布号 | CN101586941A | 申请公布日期 | 2009.11.25 |
| 申请号 | CN200910051049.9 | 申请日期 | 2009.05.12 |
| 申请人 | 上海微电子装备有限公司 | 发明人 | 肖鹏飞;张志平;张晓文;任胜伟;池峰;陈勇辉 |
| 分类号 | G01B9/02(2006.01)I;G01B11/02(2006.01)I | 主分类号 | G01B9/02(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海思微知识产权代理事务所 | 代理人 | 屈 蘅;李时云 |
| 主权项 | 1.一种低非线性误差与低温漂双频激光干涉装置，其特征在于：第一偏振分光棱镜；第二偏振分光棱镜，位于所述第一偏振分光棱镜的透射光的光路上；第三偏振分光棱镜，位于所述第一偏振分光棱镜的反射光的光路上；第一四分之一波片，所述第二偏振分光棱镜位于所述第一四分之一波片和所述第一偏振分光棱镜之间；至少一个第一角锥棱镜，并排放置于所述第二偏振分光棱镜的一侧；第二四分之一波片，位于所述第三偏振分光棱镜的一侧。 | ||
| 地址 | 201203上海市张江高科技园区张东路1525号 | ||