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发明名称
基材表面の処理方法および装置
摘要
本発明は、基材の基材表面を、該基材表面に液体を塗布して処理するための方法であって、ここで、前記基材表面上に塗布された液体を、該基材表面の上方に配置された加熱面によって加熱する前記方法において、前記液体の温度を、前記加熱面を上昇および下降させることによって一定に保つ前記方法に関する。さらに、本発明は、相応する装置に関する。
申请公布号
JP2016525275(A)
申请公布日期
2016.08.22
申请号
JP20160522291
申请日期
2013.07.04
申请人
エーファウ・グループ・エー・タルナー・ゲーエムベーハー
发明人
マーティン シュミートバウアー;トビアス ツェンガー;フローリアン シュミート;トーマス ヴィーザー;ヘアマン シュテルツハマー;マーティン トラックスドルフ
分类号
H01L21/027;H01L21/304
主分类号
H01L21/027
代理机构
代理人
主权项
地址
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