レチクル整形装置、方法及びそれに用いる露光装置

摘要

【課題】【解決手段】レチクル整形装置（１００）であって、上表面（１５０）と下表面（１６０）を有する吸着装置（１１０）、及び位置決め面（２１０）を有する位置決め装置（２００）を含み、吸着装置（１１０）は少なくとも位置決め装置（２００）に対して垂直方向に動作し、吸着装置（１１０）の上表面（１５０）は位置決め面（２１０）と向かい合い、かつ位置決め面（２１０）と相互に接合し；更に、吸着装置（１１０）の下表面（１６０）に負圧源と接続することでレクチル（７００）を負圧吸着するために用いる真空チャンバー（１１１）が形成され；吸着装置（１１０）の下表面（１６０）に更にレチクル（７００）吸着時に持続的に吸着装置（１１０）の下表面（１６０）とレチクル（７００）の間に向かって正圧気流を供給するために用いる、正圧源と接続する少なくとも一つの正圧出口が形成され、正圧気流の大小は吸着装置（１１０）がレチクル（７００）を吸着可能な状況で吸着装置（１１０）の下表面（１６０）とレチクル（７００）の間にエア浮き面（１４０）を形成するように制御され、レチクル（７００）の変形を解消し、露光プロセスにおいてレチクル（７００）を良好な平面度とすることで、変形したレチクル（７００）と吸着装置（１１０）の間に真空とエア浮き面を比較的容易に構築することが可能である。