泵系统、抽真空系统及真空精炼系统

摘要

本实用新型涉及一种泵系统、采用该泵系统的抽真空系统及采用该抽真空系统的真空精炼系统。泵系统包括通过抽气管道串接的罗茨泵机构和水环泵机构，及第一旁通管路，第一旁通管路的两端分别连接至罗茨泵机构的进气端和出气端，第一旁通管路上设置有切断阀。抽真空系统可进一步设置第二旁通管路，第二旁通管路的两端分别连接至过滤器的进气端和出气端。通过设置第一旁通管路，可形成水环泵机构的快速预抽通道，从而提高真空预抽阶段的抽气速度，提高工作效率，同时避免预抽阶段粉尘含量较高的气体通过罗茨泵机构造成设备故障。通过设置第二旁通管路，可选择被抽气体是否经过过滤器处理，可降低气体的压力损失，提高抽真空效率。

主权项

一种泵系统，其特征在于：包括采用罗茨泵进行抽气的罗茨泵机构和采用水环泵进行抽气的水环泵机构，所述罗茨泵机构与所述水环泵机构通过抽气管道依次串接；还包括第一旁通管路，所述第一旁通管路的两端分别连接至所述罗茨泵机构的进气端和出气端，所述第一旁通管路上设置有切断阀。