发明名称
摘要
申请公布号 NL7016720(A) 申请公布日期 1972.05.16
申请号 NL19700016720 申请日期 1970.11.14
申请人 发明人
分类号 H01L21/8229;H01L21/86;H01L27/00;H01L27/06;H01L27/082;(IPC1-7):H01L19/00;H01L7/34 主分类号 H01L21/8229
代理机构 代理人
主权项
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