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发明名称
摘要
申请公布号
NL7016720(A)
申请公布日期
1972.05.16
申请号
NL19700016720
申请日期
1970.11.14
申请人
发明人
分类号
H01L21/8229;H01L21/86;H01L27/00;H01L27/06;H01L27/082;(IPC1-7):H01L19/00;H01L7/34
主分类号
H01L21/8229
代理机构
代理人
主权项
地址
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