发明名称 METHOD OF REMOVING INVERSION LAYERS FROM SEMICONDUCTOR BODIES OF P-TYPE CONDUCTIVITY
摘要
申请公布号 US3733222(A) 申请公布日期 1973.05.15
申请号 USD3733222 申请日期 1970.09.22
申请人 LICENTIA PATENT VERWALTUNGS GMBH,DT 发明人 SCHILLER H,DT
分类号 F24C5/16;H01L21/00;H01L21/26;H01L29/00;H01L29/06;H01L31/00;H01L31/18;(IPC1-7):H01L7/00 主分类号 F24C5/16
代理机构 代理人
主权项
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