发明名称 ELECTRONIC PART INSPECTION SCREENING DEVICE
摘要
申请公布号 JPS51123567(A) 申请公布日期 1976.10.28
申请号 JP19750048346 申请日期 1975.04.21
申请人 NIPPON ELECTRIC CO 发明人 NAKAMURA KOUJI;TANAKA NOBORU;ITOU NOBORU
分类号 H01L21/66;G01R31/26;H05K13/02 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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