| 发明名称 |
VERFAHREN UND EINRICHTUNG ZUR HOCHFREQUENZVERSORGUNG ZUR VERWENDUNG IN EINER PLASMAVORRICHTUNG |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE4112590(A1) |
申请公布日期 |
1991.10.24 |
| 申请号 |
DE19914112590 |
申请日期 |
1991.04.17 |
| 申请人 |
MITSUBISHI DENKI K.K., TOKIO/TOKYO, JP |
发明人 |
OKU, KOUJI, FUKUOKA, JP |
| 分类号 |
H01L21/302;H01L21/3065;H01P5/02;H03H7/38;H05H1/46 |
主分类号 |
H01L21/302 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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