发明名称 HALBLEITERVORRICHTUNG.
摘要
申请公布号 DE3584799(D1) 申请公布日期 1992.01.16
申请号 DE19853584799 申请日期 1985.06.19
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP., ARMONK, N.Y., US 发明人 FOWLER, ALAN BICKSLER, YORKTOWN HEIGHTS, NY 10598, US
分类号 H01L29/812;H01L21/338;H01L29/66;H01L29/775;H01L29/778;H01L29/80;(IPC1-7):H01L29/76;H01L29/10;G01B9/02 主分类号 H01L29/812
代理机构 代理人
主权项
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