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发明名称
VERFAHREN UND ANORDNUNG ZUR KALIBRIERUNG VON ISFET-SENSOREN
摘要
申请公布号
DD297735(A5)
申请公布日期
1992.01.16
申请号
DD19900343964
申请日期
1990.09.12
申请人
FORSCHUNGSINSTITUT "KURT SCHWABE" MEINSBERG,DE
发明人
OELSNER,WOLFRAM,DE;KADEN,HEINER,DE;SCHIRMER,ECKEHART,DE
分类号
G01N27/414;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66;H01L29/784
主分类号
G01N27/414
代理机构
代理人
主权项
地址
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