发明名称 VERFAHREN UND ANORDNUNG ZUR KALIBRIERUNG VON ISFET-SENSOREN
摘要
申请公布号 DD297735(A5) 申请公布日期 1992.01.16
申请号 DD19900343964 申请日期 1990.09.12
申请人 FORSCHUNGSINSTITUT "KURT SCHWABE" MEINSBERG,DE 发明人 OELSNER,WOLFRAM,DE;KADEN,HEINER,DE;SCHIRMER,ECKEHART,DE
分类号 G01N27/414;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66;H01L29/784 主分类号 G01N27/414
代理机构 代理人
主权项
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