摘要 |
<P>Dispositif de calibrage pour ajuster en hyperfréquences lesdits plans de référence d'un appareillage de mesure des paramètres de dispersion d'éléments de circuits intégrés sur un substrat, ce dispositif comprenant, intégrés sur ce même substrat des motifs standards et des accès à ces motifs compatibles avec les contacts de deux sondes de test connectées à l'appareillage, caractérisé en ce qu'il comprend au moins, sur ce substrat, deux séries identiques de motifs standards formés de lignes parallèles et de même longueur, parmi lesquelles: <BR/> - une ligne court-circuitée et/ou une ligne ouverte, et/ou une ligne chargée dont les accès sont alignés dans chaque série, mais opposés d'une série à l'autre par rapport à la zone où sont disposées les secondes extrémités, et dont ces secondes extrémités sont alignées dans chaque série, définissant lesdits plans de référence disposés en vis-à-vis, séparés d'une distance déterminée d, secondes extrémités qui sont en outre disposées décalées d'une série à l'autre dans le plan du substrat, par translations parallèles aux plans de référence, de manière telle que la distance entre ces extrémités décalées est égale ou supérieure à deux fois l'épaisseur du substrat et de manière telle que la distance d séparant les plans de référence est environ égale ou inférieure à trois fois l'épaisseur du substrat. <BR/> Application: caractérisation des circuits intégrés hyperfréquences</P>
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