发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH10163250(A) 申请公布日期 1998.06.19
申请号 JP19960323202 申请日期 1996.12.03
申请人 SEIKO EPSON CORP 发明人 YAMAZAKI YASUO
分类号 H01L21/60;H01L21/56;H01L23/12;H05K3/34;(IPC1-7):H01L21/60 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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