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发明名称
摘要
申请公布号 JP2959508(B2) 申请公布日期 1999.10.06
申请号 JP19970047297 申请日期 1997.02.14
申请人 NITSUSHIN DENKI KK 发明人 MAENO SHUICHI;ANDO YASUNORI;MATSUDA YASUHIRO
分类号 C23C14/46;C23C16/50;C23C16/511;C23F4/00;H01J27/16;H01J27/18;H01J37/08;H01L21/205;H01L21/265;H05H1/46;(IPC1-7):H05H1/46 主分类号 C23C14/46
代理机构 代理人
主权项
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