CAPACITIVE MAGNETIC FIELD SENSOR

摘要

Die Erfindung betrifft einen kapazitiven Magnetfeldsensor. Dieser Sensor ist mit einer ersten Elektrode (2) und einer zweiten Elektrode (3), welche voneinander beabstandet sind und eine Messkapazität bilden, versehen. Dabei ist die erste Elektrode (2) auf einem ersten Substratkörper (4) und die zweite Elektrode (3) auf einem zweiten Substratkörper (5) angeordnet, wobei der zweite Substratkörper (5) im Bereich der zweiten Elektrode (3) als verformbare Membran ausgebildet ist. Im Bereich der zweiten Elektrode (3) und der Membran ist ein magnetischer Körper (6) angeordnet und mit der Membran und der zweiten Elektrode (3) starr verbunden. Mittels dieser starren Verbindung bewirkt der Einfluss eines äusseren Magnetfeldes auf den magnetischen Körper nicht nur eine Lageveränderung des magnetischen Körpers (6), sondern damit fest verbunden auch eine Lageveränderung der Membran und der zweiten Elektrode (3). Durch die Lageveränderung der zweiten Elektrode (3) verändert sich der Abstand dieser zu der ersten Elektrode (2) und damit die Messkapazität, welche als Mass für das äussere anliegende Magnetfeld wirkt. Der kapazitive Magnetfeldsensor zeichnet sich durch ein sehr kleines Aussenmass, grosse mechanische Stabilität und eine geringe Temperaturabhängigkeit aus.